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一种低介电常数内间隔层的环绕式场效电晶管.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113013238 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110205210.4 (22)申请日 2021.02.24 (71)申请人上海华力集成电路制造有限公司

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