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薄膜沉积系统以及沉积薄膜的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113005428 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011503282.9 C23C 16/52 (2006.01) (22)申请日 2

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