扩散炉TGA校准SOP.ppt

通风的功能主要有： (1) 提供人呼吸所需要的氧气； (2) 稀释室内污染物或气味； (3) 排除室内工艺过程产生的污染物； (4) 除去室内多余的热量(称余热)或湿量(称余湿)； (5) 提供室内燃烧设备燃烧所需的空气。 建筑中的通风系统可能只完成其中的一项或几项任务。其中利用通风除去室内余热和余湿的功能是有限的，它受室外空气状态的限制。 通风的主要目的是为了置换室内的空气，改善室内空气品质，是以建筑物内的污染物为主要控制对象的。 根据换气方法不同可分为排风和送风。排风是在局部地点或整个房间把不符合卫生标准的污染空气直接或经过处理后排至室外；送风是把新鲜或经过处理的空气送入室内。 对于为排风和送风设置的管道及设备等装置分别称为排风系统和送风系统，统称为通风系统。 * 扩 散 炉 TAG 校 准 SOP 力诺光伏设备管理部 潘学兴 二线扩散炉的TGA 校准与一线的有所不同，与一线扩散炉TGA校准相比更加简单。大体可分为以下三步： Add your text in here 选择工艺 1 Add your text in here 运行工艺 3 Add your text in here 修改参数 5 Add your text in here 选择工艺 1 在进行TGA校准之前首先手动将一个空舟放置在所要进行TGA校准的Paddle上。 在CMI上cesar 待机显示窗口中点击Recipe（或点击键盘上的F4键）选择工艺如图1所示： 点击这里 图1 Add your text in here 选择工艺 1 二线扩散炉的数据存储区域有两个，一个就是Cesar本身自己的存储区域，另一个就是与每一个Cesar相对应的移动存储区（H盘）。此移动存储区保存的是每一个Cesar的数据和工艺程序。它与CCC 电脑相连，在CCC电脑上可直接读取。所以在做TGA校准之前需要选择TGA校准工艺的存储路径： 图2 点击这里 点击Recipe后进入Recipe对话框，如图2所示：Options选项在下一个画面中所以先点击Tab更换至下一个画面。 Add your text in here 选择工艺 1 点击Tab后出现的画面如图3所示：在图中所显示的画面中，*.PRZ的文件即为工艺程序。 点击图中Options选项（或是点击键盘上F7）进入Options对话框。 图3 点击这里 Add your text in here 选择工艺 1 点击Options选项后进入的画面如图4所示： 点击Director选项（或点击键盘上F2）进入路径更改对话框。 图4 Add your text in here 选择工艺 1 进入路径更改对话框如图5所示： 在对话框中用“↑”“↓”选中“c:\cesar\recipe\”后敲回车。工艺存储路径即选择完毕。 图5 点击这里 Add your text in here 运行工艺 2 工艺存储路径选择完毕后出现的对话框，如图6所示： 在对话框中用“↑”“↓”选中“tgaefm2e.prz”工艺后，点击Start选项（或是键盘上F2）。则工艺开始运行。 图6 工艺运行之后，Cesar会自动在舟的尾端和首端进行5次（此数值再点击Start之后有对话框可更改）测量。测量完毕后Cesar待机窗口中会列出5次测量的平均值，如图7所示： Add your text in here 运行工艺 2 图7 Add your text in here 修改参数 3 在Cesar待机换面中点击Service选项（或是点击键盘上F7）进入Service对话框。如图8所示： 图8 点击这里 Add your text in here 修改参数 3 进入Service对话框后，点击Calibrat选项（或是点击键盘上F4）进入Calibrat对话框。如图9所示： 图9 点击这里 *