非对称坡面底无阀压电泵.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 ! ! 6378! 938 ! ! !!!!!!!! ’ )*+,-./012+*,*3.4. *.221*. !!!!!!!! 年 月 ! ( 5 5 #$$% :;.8#$$% ! ! ! ! 文章编号 ! !$$=#N #$$%$=$$$!=$ ! 非对称坡面底无阀压电泵 ! # # 夏齐霄 !张建辉 !李 洪 ! 北京联合大学 机电学院!北京 # 北京工业大学 机械工程与应用电子学院!北京 $ !8 !$$$#$ #8 !$$$## 摘要!无阀压电泵结构简单%较有阀压电泵更适合于微小型化%尤其适合于微机电系统! %可是无阀压电泵需在泵 E4EA 腔外面装配控制流体流动方向的部件%这无疑会占用一定的空间%阻碍其进一步微小型化$本文首先提出了一种新型的 非对称坡面底无阀压电泵%这种泵巧妙地利用了泵控内部的空间%将泵腔底部沿吸入口和排出口方向设计成非对称坡面 形状%非对称坡面腔底与压电振子之间形成非对称交替排列的一组锥形流道%当泵工作时%使流体产生单向流动%从而可 以不再需要传统的锥形流管然后建立了这种泵关于平均值的流阻系数与泵流量关系的力学模型%并利用该模型分析了 泵的工作原理最后制作了非对称坡面腔底无阀压电泵%利用试验证明了上述理论的正确性$试验用泵采用的工作电压 为 %工作频率为 %压电振子有效直径为 %当非对称坡面的倾角差为 %工作介质为水时%泵产生了 ##$6 ?$I‘ $MM P$j 8%PMM水柱的压差$ 关 键 词!压电泵!无阀!流阻!非对称坡面底 ! ! 中图分类号! 文献标识码! QI# S ! ! K$%C)C%?)%-- ’%U*%)%(#0’( . 7’#$.,-%#0’()-)*%-($3%03*##* 2 2 2 4 2 ! # # % % NDS R*=[*-3 KIS9H :*-.=C;* BDI3. 5 ! % %