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在光刻设备中使用的光学部件和夹具.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114585973 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202080074258.X (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

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