无机非金属材料导论-0绪论.ppt
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5. 薄膜材料（film materials） 薄膜材料（也称无机涂层，inorganic coating ）是相对于体材料而言，指采用特殊的方法，在体材料的表面沉积或制备的一层性质与体材料性质完全不同的物质层，从而具有特殊的材料性能或性能组合。 薄膜材料分类：按功能特性可分为半导体薄膜，主要有半导体单晶薄膜、薄膜晶体管、太阳能电池、场致发光薄膜等；电学薄膜，包括集成电路（IC）中的布线、透明导电膜、绝缘膜、压电薄膜等；信息记录用薄膜，如磁记录材料、巨磁电阻材料、光记录元件材料等；各种热、气敏感薄膜；光学薄膜，包括防反射膜、薄膜激光器等。 6.
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