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3D NAND存储器的空洞检测方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113410153 B (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202110617443.5 H01L 27/11582 (2017.01) (22)申请

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