3D NAND存储器的空洞检测方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113410152 B
(45)授权公告日 2022.05.17
(21)申请号 202110616489.5 H01L 27/11582 (2017.01)
(22)申请日 2021
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