立方相WO3薄膜的制备及表征-无机材料学报.PDF

第25 卷 第 12 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 25 No. 12 2010 年12 月 Journal of Inorganic Materials Dec., 2010 文章编号: 1000-324X(2010)12-1318-07 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2010.01318 立方相 WO3 薄膜的制备及表征 1 1 1, 2 1 1 李文章 , 李 洁 , 王 旋 , 肖 娟 , 陈启元 (1. 中南大学 化学化工学院, 有色金属资源化学教育部重点实验室, 长沙 410083; 2. 沈阳铝镁设计研究院, 沈阳 110001) 摘 要: 以偏钨酸铵(NH ) W O  6H O 为钨源, 聚乙二醇(PEG)为配位聚合物, 采用聚合物前驱体法制备了立方晶 4 6 7 24 2 相WO (c-WO )薄膜, 利用X 射线衍射、扫描电镜、能谱分析及高分辨透射电镜等手段对结构进行了表征, 并考察 3 3 了煅烧温度、溶液pH 值及镀膜衬底对WO3 薄膜晶体结构与形貌的影响. 结果表明, 以FTO 导电玻璃为衬底, 450℃ 热处理3 h 的样品为c-WO3, 薄膜光滑平整, 均匀良好, 表面颗粒粒径为60 nm, 厚度为2.9 μm, 晶体生长有序度较 高; 热处理温度在400~550℃和不同pH 值条件下制得的薄膜均为立方晶体结构; 样品的颗粒粒径随前驱体溶胶pH 值升高而减小; 以石英玻璃和石墨衬底镀膜得到的样品均为单斜晶体结构, 表明衬底对 WO3 薄膜晶体结构具有明 显的影响. 关 键 词: 立方相WO3; 纳米薄膜; 聚合物前驱体法 中图分类号: O614; TB383 文献标识码: A Preparation and Characterization of Cubic WO Films 3 1 1 1, 2 1 1 LI Wen-Zhang , LI Jie , WANG Xuan , XIAO Juan , CHEN Qi-Yuan (1. Key Laboratory of Resources Chemistry of Nonferrous Metals, Ministry of Education, Central South Unive