薄膜的微结构研究-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 一 一 文章编号 一 硅基 薄膜 的微结构研 究 卢焕 明, 叶志镇 , 黄靖云 , 汪 雷, 赵 炳辉 浙 江 大 学硅 材 料 国家重 点 实脸 室 , 杭 州 摘 要 利 用透射 电子显微镜及 射线衍射 , 研 究脉冲激光沉积技术 在 衬底 上 生长 薄膜 的微结构 结果表 明, 在 的衬底温度 、 的氧分压条件 下 , 在 硅 面 的 晶 层 生 的 , 取 的 晶 还 片表 厚 非 氧化 上 长 薄膜 为 轴择优 向 单相 体 本文 讨 论 了获得 轴择优取 向 薄膜 的生长机理 关 键 词 薄膜 , 透射 电子显微镜 , 技术 中图分类号 文献标识码 引言 、 、 是一种人工合成 的铁 电晶体 , 具有优 良的压 电 电光 声光性 能和较 大 的非 、 、 光 学 , 一 在 学 光学 光 以及光 成和 线 光 学 的 要材 料 一 线性 效应 是 种 声 通讯 集 非 性 等领域 重 常温 下 晶体 的空 间点群 为 , 通 常