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光栅波导结构及其加工方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114578475 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202011383781.9 (22)申请日 2020.12.01 (71)申请人 华为技术有限公司 地址 51812
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