一种高灵敏度的碳化硅可集成温度传感器.pdf
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112798126 B
(45)授权公告日 2021.07.02
(21)申请号 202110374953.4 CN 102339836 A,2012.02.01
(22)
显示全部