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一种高灵敏度柔性压力传感器.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115165165 A (43)申请公布日 2022.10.11 (21)申请号 202210725100.5 (22)申请日 2022.06.24 (71)申请人深圳深南电燃机工程

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