纳米氧化锌掺铝薄膜的微观结构研究.PDF

年第 期( )卷 1124 2013 8 44 纳米氧化锌掺铝薄膜的微观结构研究∗ , , , , , 王明光 杨 慧 汪嘉恒 宁 策 徐奕辰 祁 阳 　 　 　 ( , ) 东北大学 理学院 辽宁 沈阳 110004 : ( ) , 摘 要 采用溶胶 凝胶 法在玻璃衬底上制 研究了 薄膜的生长取向和结晶状态 了解 　 　 - sol-el TEM ZAO g , ( ) 。 备了纳米 掺铝薄膜 利用 射线衍射仪 和 掺杂对 薄膜生长的影响 ZnO X XRD Al ZnO 透射电镜( )对薄膜的微观结构进行了系统的研 TEM 实 验 2　 　 。 , 究 结果表明 所有在玻璃衬底上生长的ZnO薄膜均 。 ( ) , 具有 轴择优取向 掺杂量为 原子分数 时 薄膜制备 c 2% Al 2.1　 。 。 在 薄膜中达到最高水平 过量 掺杂明显减弱 采用溶胶 凝胶旋转涂覆法制备薄膜 选择二水 ZnO Al - 。 , ( ( ) · ) , 薄膜的 轴择优取向 随着 掺杂量的增加 晶 合乙酸锌 作为前驱体 无水 c Al ZnO ZnCHCOO 2H O 3 2 2 。 , ( ) , ( 粒进一步细化 其原因是未进入 晶格的 以非 乙醇为溶剂 乙醇胺 作为络合剂 硝酸铝 ZnO Al MEA Al ( )· ) , 晶 的形式在 晶界上形成了对晶界运动的 作为 掺杂源 配制出锌离子浓度 AlO ZnO NO 9H O Al 2 3