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一种基于磁栅尺的寻零精确定位方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114885085 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210678798.X (22)申请日 2022.06.15 (71)申请人西安应用光学研究所

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