SEM-EDX 培训2.ppt

Serve through People……Connect through Technology * Serve through People……Connect through Technology Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX 介绍 GQA SEM/EDX 介绍 Serve through People……Connect through Technology 一：SEM/EDX基本原理 二：样品制备 三：参数选择 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 : 二次电子和背散色电子 二次电子SE：二次电子SE检测器接受入射电子与试样产生二次电子，进行SEM分析。 二次电子SE特点： 1.二次电子主要来自试样表面,只有试样表面产生的二次电子能被检测到,因此SE用来分析样品的表面形状,外观形貌特征。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 : 二次电子和背散色电子 2. 它与加速电压存在一定的关系,当加速电压越低时,SE分辨率越高,越适合观察表面形状。所以低电压适合观察表面形状。备注: 并不是越低越好,因为当加速电压降低,探头直径变大,当直接大于二次电子深度,信息流失,此时并不适合观察。比如，钨灯丝电子枪，当加速电压很低时0.5KV,信息流失,不适合观察。  Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 背散射电子：背散色电子检测器接受入射电子与试样产生背散射电子(BSE), 进行SEM分析（主要分析样品组成，不同元素颜色分界明显。右图背散射电子像显示试样中金和镍的镀层组成信息。） Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 背散射电子应用： 1.背散射电子主要来自试样的较深层,它能区分不同元素原子量。因此不同元素物质颜色分界明显。主要用来分析试样的组成。如背散射电子图中，元素原子量较低部分的颜色较灰暗。如下Au,Ni镀层背散射电子图,原子量较小的Ni-P层颜色比原子量大的Au部分灰暗，Au层比较明亮。 备注：Au原子量=79,Ni原子量=28，P原子量=15 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 背散射电子应用： 2. 如果ENIG keypad上有机污染，在背散射电子图中可以看到明亮的keypad上有其它黑色物质，这是因为有机物主要由C元素组成（C的原子量为6），而金的原子量为79，所以在图上，含C物质比keypad灰暗。 含C污染物 金面 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX基本原理 SEM/EDX一体化分析：SEM/EDX能谱仪接受入射电子与试样产生的特征X射线, 二次电子（或背散色电子进行）进行SEM/EDX分析，在SEM监视器及EDX监测器上显示相关SEM图像分析及EDX数据分析。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX能谱仪介绍 能谱仪系统主要由以下几个部分组成： 电源供应器，为x-stream提供24v直流电源 X-stream控制器（包含数字脉冲处理器,从探测器接收电信号，测量并计入相应通道, 从而在谱图相应位置获得峰谱） Mics控制器（与SEM/TEM的图像接口相连接,实现图像获取） 探测器（探测X射线信号并转换为电信号） 计算机系统(运行微分析应用软件) 仪器介绍：　 计算机系统 SEM/EDX样品制备 Serve through People……Connect through Technology 样品制备注意事项: 针对有机物试样,由于熔点低,会受到热的影响,再加上导电性差,所以样品在制备时候必须做一些特殊制备,否则会影响SEM图像质量。 Serve through People……Connect through Technology SEM/EDX参数选择 SEM/EDX参数优化的选择: (正在DOE实验进行中，待定) 1.加速电压 20kV-25kV 2. 活时间 20s-100s3. 处理时间 16s-100s Serve through People……Connect through Technology Thank You! * Serve th