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一种用于镀膜设备的加热盘.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213172562 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021515052.X (22)申请日 2020.07.28 (73)专利权人爱利彼半导体设备（中国）有限公

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