XPS数据处理及分峰图解XPS数据处理及分峰图解.pdf
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X射线光电子能谱
数据处理及分峰步骤
中国科学院化学研究所
刘芬
2005.10.21
Region 1
2004
5
30
一、在Origin中作图步骤: 12
48
10
1、打开文件,可以看到一列数据,找到相应元素 (如 255
0
XPS
N1s)对应的Region (一个Region 对应一张谱图), Al K-alpha
1486.6
0
一个文件有多个Region。 0
0
0
0
2、继续向下找到Kinetic Energy,其下面一个数据为 FAT
30
1E+37
动能起始值,即谱图左侧第一个数据。用公式
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