XPS分析原理 、常见问题和数据处理案例介绍.pdf
赛默飞XPS光电子能谱学苑
分析原理、常见问题和数
据处分析案例介绍
程斌
北京化工大学
2019,11北京
：：
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一、前言
1.1XPS代表的意思
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1.2XPS定义
（）
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1.3XPS功能
表面组成定性、定量分析
表面元素化学态定性、定量分析
表面元素的分布及分布图
界面元素分析
组成与化学态深度分布
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1.4XPS方法Forinstrumentalanalysis
PhysicalProperties
IntensityforQuantativeAnalysis
l
a
c
i
tIntensity
r
e
V
PostionHorizontal
PostionInformationforQualitativeAnalysis
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For
结合能与原子中电子轨道有对应关系确定元素（定性）
光电子数量与元素浓度有关确定元素含量（定量）
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二、XPS方法原理
2.1芯电子与价电子
价电子：1、原子最外层、能量最高2、参与化学
反应
芯电子：原子内层、能量低、稳定构型（全满）、不参
与化学反应。
保留原子特征
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S16e-1s22s22p63s23p4
芯电子价电子
S16e-[Ne]