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一种快速下料的半导体加工用喷胶装置.pdf

发布:2023-06-18约8.94千字共11页下载文档
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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113333227 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110434765.6 (22)申请日 2021.04.22 (71)申请人 武汉城市职业学院 地址
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