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一种微机电系统换能器封装结构.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112830446 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110039157.5 (22)申请日 2021.03.26 (71)申请人东莞理工学院地址

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