《《CVD金刚石薄膜技术发展现状及展望_上_》》.pdf

第 卷 第 期 超 硬 材 料 工 程 ２４ ２ Ｖｏｌ．２４ 　 　 　 　 　 　 　　　　　　　　　　　 年 月 ２０１２ ４ ＳＵＰＥＲＨＡＲＤＭＡＴＥＲＩＡＬ ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ａ ｒ．２０１２ 　 　 　 ｐ  ① （ ） ＣＶＤ金刚石薄膜技术发展现状及展 望 上 ， ， 杨德威 栗正新 苑执 中 （ ， ） 河南 工业大 学材料科学与工 程 学 院 郑 州 ４５０００１ ： 。 、 摘 要 简要 描 述 了 ＣＶＤ金刚石 薄膜技术 的发展 历程 介 绍 了纳米特 别是 超 纳米金刚石 膜 ＣＶＤ金刚石 　 。 （ ）、 大单晶 的技术 特点及其 应 用 超 纳 米金 刚 石 膜 在 ＭＥＭＳ 微 机 电 系统 电 化 学和 生 物 医学 上 的应 用 和 。 ， ， “ ＣＶＤ金刚石大 单晶是 当前 的研究热 点 简言之 金刚石的 发展 向着更 大或 者 更 小 的方 向深入进行 即 非 大 即 小”。 ： ； ； 关键词 超 纳米金刚石 膜 ＣＶＤ金刚石大 单晶 综述 中图分类号 ： 文献标识码 ： 文章编号 ： （ ） ＴＱ１６４ Ａ １６７３－１４３３２０１２０２－００４４－０５ 　　 　　 Ｔｈｅｃｕｒｒｅｎｔｓｉｔｕａｔｉｏｎａｎｄｄｅｖｅｌｏ ｍｅｎｔｏｆＣＶＤｄｉａｍｏｎｄｆｉｌｍｔｅｃｈｎｉｕｅｓ 　 　 　 　 ｐ 　 　 　 　 　 ｑ ， ， ＹＡＮＧ Ｄｅｗｅｉ ＬＩＺｈｅｎ ｘｉｎ ＹＵＡＮ Ｚｈｉｚｈｏｎ 　 － 　 － 　 － ｇ ｇ （ ， ， ， ） Ｃｏｌｌｅ ｅｏ ＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎ ｉｎｅｅｒｉｎ ＨｅｎａｎＵｎｉｖｅｒｓｉ