惯性MEMS技术苏岩珍贵专业资料.pdf

惯性MEMS技术 现状发展动力 苏岩 MEMS惯性技术研究中心 • MEMS作为一个新兴的技术领域，有可能象 当年的微电子技术一样，成为一门重大的产业。 但瑞在它还处在初级阶段，因而我国在这一领域， 机遇和挑战并存。从研究开发的情况来看，我国 在该领域的技术水平与世界先进水平的差距并不 太大，某些方面甚至已达到先进水平。但是，我 国在MEMS技术的产业化方面，却远远落后于世 界先进水平。 • MEMS在二十一世纪将会有更大的发展。我 们应该正视下一世纪在高技术领域中的激烈竞争， 争取在不远的将来在国际上占有一席之地，迎接 二十一世纪技术与产业革命的挑战。 MEMS惯性技术研究中心 MEMS惯性技术研究中心 MEMS惯性技术研究中心 Micro-Cooling MEMS惯性技术研究中心 2 、名称 • 美国：Micro Electro-Mechanical Systems • 日本：Micromachines • 欧洲：Micro －Systems Technology 我国采用美国的说法，简称MEMS 。 MEMS惯性技术研究中心 3. 概念 定义: 简单地说：应用微米（μm）与纳米（nm ）加 工技术研制微小机械、电子元件及组建，并整合 为电子电路与微控制器，就称为微机电系统。 指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、 微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、 通信和电源等于一体的微型器件或系统。 MEMS惯性技术研究中心 1、什么是MEMS MEMS惯性技术研究中心 2、MEMS的起源与发展  1959年 “There’s Plenty of Room at the Bottom” (R. Feynman)  1962年 第一个硅微型压力传感器问世 MEMS惯性技术研究中心 • A micro-lathe MEMS惯性技术研究中心 • Georgia Tech 的研究人员正在研究一种用脉动燃烧 驱动磁性自由活塞的热力发动机。该发动机包括 一个直角磁性活塞、一个带有埋入传导线圈的直 角沟槽、两个在沟槽两边的燃烧室，当两边的燃 烧室周期性的做功时，气体推动磁性活塞在埋入 线圈的沟槽内往复运动，从而在线圈内感应生成 电流。 MEMS惯性技术研究中心 • Georgia Honeywell Technology Center和Air Force Research Laboratory （AFRL ）的研究人员正在研究一种MEMS级的对置自由活塞发动机 （MEMS Free-piston Knock Engine ）,他们的目标是在微观级演示使用 炭氢燃料的内燃机和发电机，比如：丙烷、丁烷或柴油，并且可以供 给士兵使用或代替其它电池应用的5－10W输出功率的发电装置。 MEMS惯性技术研究中心 2、MEMS的起源与发展  1967年美国Westinghouse公司发明表面加工工艺 MEMS惯性技术研究中心 2、MEMS的起源与发展  1970年，美国Kulite公司研制了第一个硅加速度计样机  1977年，美国Stanfo