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一种芯片测试用探针和芯片测试装置.pdf

发布：2023-06-06约7.93千字共7页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113009196 B (45)授权公告日 2022.03.18 (21)申请号 202110231417.9 G01R 31/28 (2006.01) (22)申请日

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