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平面靶材基体烧结用承载放置机构.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116465204 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202310330095.2 (22)申请日 2023.03.30 (71)申请人先导薄膜材料（安徽）有限公司地址

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