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2025年集成电路用化学品项目发展计划.docx

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集成电路用化学品项目发展计划

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集成电路用化学品项目发展计划

TOC\h\z26554序言 3

30121一、后期运营与管理 3

537(一)、集成电路用化学品项目运营管理机制 3

14843(二)、人员培训与知识转移 4

15087(三)、设备维护与保养 5

15800(四)、定期检查与评估 5

26143二、工程设计说明 6

21908(一)、建筑工程设计原则 6

7272(二)、集成电路用化学品项目工程建设标准规范 6

23238(三)、集成电路用化学品项目总平面设计要求 6

12237(四)、建筑

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