GB/T 40577-2021集成电路制造设备术语.pdf
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ICS31.220
CCSL95
中华人 民共和 国国家标准
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GBT40577 2021
集成电路制造设备术语
( )
Terminolo forinteratedcircuitIC manufacturin euiment
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2021-10-11发布 2022-05-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
国家标准化管理委员会
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GBT40577 2021
目 次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
3 基础术语 ………………………………………………………………………………………………… 1
4 晶体生长加工设备 ……………………………………………………………………………………… 2
5 掩模制造设备 …………………………………………………………………………………………… 5
6 光刻与刻蚀设备 ………………………………………………………………………………………… 8
7 掺杂设备………………………………………………………………………………………………… 15
8 薄膜淀积设备…………………………………………………………………………………………… 17
9 清洗设备………………………………………………………………………………………………… 23
10 封装设备 ……………………………………………………………………………………………… 24
11 检测设备 ……………………………………………………………………………………………… 27
12 公用部件 ……………………………………………………………………………………………… 34
参考文献 …………………………………………………………………………………………………… 37
索引 ………………………………………………………………………………………………………… 38
Ⅰ
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GBT40577 2021
前 言
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本文件按照 标准化工作导则 第
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