半导体设备及其制造方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114582951 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202111055745.4 H01L 21/336 (2006.01)
(22)申请日 2021.09
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