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一种压电微机械结构、材料及其制备工艺.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116715185 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202211488949.1 H10N 30/05 (2023.01)

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