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一种非晶硅材料电阻率调节方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112820795 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011592450.6 C23C 16/24 (2006.01)
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