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纳米硅/非晶碳化硅异质结多势垒变容二极管及制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113013261 B (45)授权公告日 2022.08.23 (21)申请号 202110203412.5 H01L 29/26 (2006.01)

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