一种光敏型SiC异构结多势垒变容二极管.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113013260 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110203368.8 H01L 21/329 (2006.01)
(22)申
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