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一种微机电系统三轴加速度传感器芯片.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213843299 U (45)授权公告日 2021.07.30 (21)申请号 202022520859.9 (22)申请日 2020.11.04 (73)专利权人 安
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