永磁体磁浮导向组件及运动台.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220527911U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202322032683.6
(22)申请日2023.07.31
(73)专利权人清华大学
地址100084
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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220527911U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202322032683.6
(22)申请日2023.07.31
(73)专利权人清华大学
地址100084