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永磁体磁浮导向组件及运动台.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220527911U

(45)授权公告日2024.02.23

(21)申请号202322032683.6

(22)申请日2023.07.31

(73)专利权人清华大学

地址100084

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