基于氧化铜金属氧化物半导体气敏性能的研究.pdf
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摘要
工业化的迅速发展和城市人口的增长导致空气污染越发严重。因此，开发出能够
准确且实时地进行气体检测的装置是非常有必要的。金属氧化物半导体气体传感器具
有效率高、可靠、低功耗、高灵敏度和体积小等优点，成为了检测有毒、有害、易燃
易爆气体的最佳候选者。氧化铜(CuO)作为一种典型的p型金属氧化物半导体，具
有成本低，制备方法简单，且寿命长等优点，但由于其初始电阻高，基于CuO的复
合材料通常要在较高的温度下才会具有气敏性能。因此，在气体传感器领域，Cu
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