铂膜电阻型热式气体质量流量计的研制.pdf

华 东 化 工 学 院 学 报 一 铂膜 电阻型热式气体质量流量计 的研制 吴 勤 勤 秦 愉 自动 化研 究所 提要 阐述 了热 式质量 流 量 传 感 器 的 原理 和 结 构 。 用 铂膜 电阻作 为感温 元 。 、 件 , 研 制 了气体 质量 流 量 计 , 并给 出试 验 结 果 这 种 流 量 计 具 有性 能稳 定 响 应 速度快 和 制作 方 便 等优 点 。 关键词 质量 流 量计 传 感 器 热 敏 元 件 电 阻 器 。 测 量 电路 中图分类 号 。 , , 目前 国 内外 已有 多种 热式质 量 流 量计 的产 品 常见 的一 种 其 传感 器 部分 是用 铂 丝 电 。 阻作为加 热和感 温 元件 因铂 丝绕 于 薄壁 金属 测量 管 的外壁 上 , 故可避 免流休冲 击 和腐蚀 , 。 。 工作稳定 但此 类 传感 器 的加工难度 大 , 铂 丝 易断 , 响应 速度 也较慢 。 作者研 制 的热式气体质 量流 量计 , 传感 器部分 采用铂 膜 电阻作 为敏感 元件 铂 膜 电阻是 、 、 、 近 几 年 出现 的新 型 热敏元件 , 具有性 能稳定 耐腐蚀 耐冲刷 响应 速度 快和制 作方 便 等优