ITO蚀刻生产工艺作业指导书.pdf

ITO蚀刻生产工艺作业指导书 文件编号 版本号 制定 审核 批 准 生效日期 页码 受控章 Controlled Document No Edition No Originator Examiner Approval Effective page stamp 2008-4-7 2/1 一、目的：规范工艺,确保蚀刻产品品质 二、适用范围：ITO蚀刻 三、职责：作业员严格按本规范操作 四、作业内容: 4.1溶液的配置 4.1.1A槽（蚀刻ITO Film） a.开槽配490(480-500)升左右酸液。 b.配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 34.51（体积比） HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 29（质量比） 质量比浓度约为16.4％，摩尔浓度约为4.71mol/L c. 取168L浓 HCL（200kg）慢慢加入290L (290kg) 纯水中 (边搅拌边加入)。配好后测试酸的浓度, 在范围内方可使用。 d. 蚀刻线酸液浓度测定 准确移取2ml槽液到洁净的锥形瓶中，加入蒸馏水（过滤水）25ml，滴加0.1%酚酞2-3滴（0.1 g酚酞 +99.9g乙醇）。使用浓度为（NaOH）=0.5mol/L标定时理论消耗约14.8~16.4ml ,接近滴定终点时溶液 顏色由无色变为红色。 注：如果蚀刻一段时间后，槽液滴定时消耗氢氧化钠标准溶液14.8~16.4ml,须补加盐酸。 e. 补充液的计算 补加量为（使用查考配加药量计算）： MHCL（g）=200000 - 12761 VNaOH VHCL (mL) = MHCL/1.19 VNaOH 蚀刻后槽液消耗标准氢氧化钠的体积ml 4.1.2 B槽（蚀刻玻璃） a. 开槽配435升左右酸液. b.配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水) : HNO3(65-68%)= 249 : 11.74: 239（体积比） HCL (36-38%) : H2O (纯水) : HNO3(65-68%)= 293 : 239 : 16.67（质量比） 摩尔浓度约为6.17mol/L c.取249L浓 HCL（296.2kg） 慢慢加入200L纯水(200kg)中(边搅拌边加入);再取11.74L 浓HNO3 （16.67kg）慢慢加入以上酸液中(边搅拌边加入) 。配好后,测试酸的浓度在范围内方可使用。 d. 蚀刻线酸液浓度测定 准确移取2ml槽液到洁净的锥形瓶中，加入蒸馏水（过滤水）25ml，滴加0.1%酚酞溶液2-3滴（0.1 g 酚酞+99.9g乙醇）。使用浓度为（NaOH）=0.5mol/L标定时理论消耗约24.2-25.0ml , 接近滴定终点 时溶液顏色由无色变为红色。 注：如果蚀刻一段时间后，槽液滴定时消耗氢氧化钠标准溶液24.2-25.0ml,须补加硝酸和盐酸。 e.补充液的计算 ITO蚀刻生产工艺作业指导书 文件编号 版本号 制定 审核 批 准 生效日期 页码 受控章 Controlled Document No Edition No Originator Examiner Approval Effective page stamp