第三部分-03-EBSD.pptx

;本章主要内容 1 电子背散射衍射（EBSD）技术简介 2 电子背散射衍射的基本原理 3 电子背散射衍射测试技术 4 电子背散射衍射技术的应用 5 电子背散射衍射分析样品的制备;1.1 EBSD探头 —— 扫描电镜附件之一 ? 安装于场发射电镜 (钨灯丝电镜、电子 探针)上的EBSD系 统示意图 一般来说，EBSD 探头垂直于于电子束光轴和样品台倾斜轴安装;电镜内部EBSD探头位置示意图;;FEI Nano 400 场发射扫描电镜及HKL EBSP系统 5.0;织构的定义：多晶体中晶粒取向的择优分布。 织构与取向的区别：多与单的关系。;极 图; 镍的{001}极图;反 极 图;;2 电子背散射衍射的基本原理 ·入射电子束进入样品，由于非弹性散射，在入射点附近发散，在表层几十纳米范围内为一个点源。由于其能量损失很少，电子的波长可认为基本不变（弹性散射电子）。这些电子在反向出射时与??体产生布拉格衍射，称为电子背散射衍射。;.菊池线的产生;入射电子在晶面的两侧发生衍射示意图;;典型的EBSD花样;样品表面倾转～70o后，背散射电子传出的路径更短。;（1）EBSD花样包含的晶体学信息丰富 （2）EBSD技术自动化程度高，分析速度快 （3）EBSD技术功能强大、应用快捷方便 （4）EBSD技术的应用范围正日益扩大，主要应用包括 1) 织构和取向分析 2) 晶粒形状及尺寸分布分析 3) 晶界性质分析 4) 形变与再结晶分析 5) 物相鉴定及相含量测定 6) 两相取向关系测定 等等 ?;4.1一个完整的标定过程;4.2 EBSD 扫描方式;4.3 EBSD的应用;;;;材料现代分析方法;4.3.3 晶界特性分析;材料现代分析方法;;4.4.4 相鉴定;;;· EBSD样品制备流程;5 电子背散射衍射分析样品的制备;;电解抛光;电解抛光的利弊 ;· 思考问题： 1. 什么是织构？常用表达织构的方法？ 2. EBSD可以获得什么信息？ 3. EBSD制样要求 4. 机械抛光和电解抛光优缺点