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半导体元件、半导体装置以及二者的制造方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113383427 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202080011584.6 (74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理

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