GB/T 32218-2015真空技术 真空系统漏率测试方法.pdf
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ICS 23.160
J 78 @B
中华人民共和国国彖标准
GB/T 32218—2015
真空技术真空系统漏率测试方法
Vacuum technology —Test methods for leak rates of vacuum system
2015-12-10 发布 2017-01-01 实施
GB/T 32218—2015
目 次
前言 m
i范围 1
2规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4测试原理 1
4.1氮质谱法真空系统漏率测试原理 1
4.2静态升压法真空系统漏率测试原理 2
5仪器与设备 2
5.1 检漏仪和检漏系统 2
5.2 标准漏孑L 2
5.3 真空计 2
5.4氮罩 2
5.5 累积阀 2
5.6 测试阀 2
6 测试条件 2
6.1测试场地的环境要求 2
6.2 氮气 3
6.3 氮气 3
7测试程序 3
7.1 测试前准备 3
7.2氮质谱法真空系统漏率测试
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