GB/T 36176-2018真空技术　氦质谱真空检漏方法.pdf

ICS23.160 J78 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT36176 2018 真空技术 氦质谱真空检漏方法 — Vacuumtechnolo Vacuumleaktestin methodb heliummasssectrometer gy g y p 2018-05-14发布 2018-12-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — GBT36176 2018 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 一般要求 ………………………………………………………………………………………………… 2 4.1 人员资格 …………………………………………………………………………………………… 2 4.2 设备要求 …………………………………………………………………………………………… 2 4.3 氦气 ………………………………………………………………………………………………… 2 4.4 环境要求 …………………………………………………………………………………………… 2 5 检漏方法 ………………………………………………………………………………………………… 2 5.1 喷吹法 ……………………………………………………………………………………………… 2 5.2 氦罩法 ……………………………………………………………………………………………… 6 压力 真空检漏法 …………………………………………………………………………………… 5.3 - 9 6 检漏文件………………………………………………………………………………………………… 11 6.1 检漏记录…………………………………………………………………………………………… 11 6.2 检漏报告 …………………………………………………………………………………………… 11 ( ) ………………………………………………………………………… 附录 规范性附录 检漏记录 A 12 ( ) ………………………………………………………………………… 附录 规范性附录 检漏报告 B 13