GB/T 40344.2-2021真空技术 真空泵性能测量标准方法 第2部分:容积真空泵.pdf
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J78
中华人 民共和 国国家标准
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GBT40344.2 2021ISO21360-22020
真空技术 真空泵性能测量标准方法
:
第 部分 容积真空泵
2
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ISO21360-22020IDT
2021-08-20发布 2022-03-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
国家标准化管理委员会
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GBT40344.2 2021ISO21360-22020
目 次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ
引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅱ
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
4 符号 ……………………………………………………………………………………………………… 2
5 测试方法 ………………………………………………………………………………………………… 3
5.1 体积流率的测量 …………………………………………………………………………………… 3
5.1.1 测量方法 ……………………………………………………………………………………… 3
5.1.2 流量法 ………………………………………………………………………………………… 3
5.1.3 抽气法 ………………………………………………………………………………………… 3
5.1.4 运行条件 ……………………………………………………………………………………… 3
5.2 基础压力的测量 …………………………………………………………………………………… 3
5.3 水蒸气容限的测量 ………………………………………………………………………………… 4
5.4 功耗的测定 ………………………………………………………………………………………… 4
5.4.1 概述 …………………………………………………………………………………………… 4
5.4.2 测量条件 ……………………………………………………………………………………… 4
5.4.3 测量步骤 ……………………………………………………………………………………… 4
5.5 最低启动温度 ……………………………………………………………………………………… 4
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