透射电子显微镜精简版.pdf

材料科学与工程学院 材料科学与工程学院 一、透射电镜工作原理和 第四章 特点 现代分析测试技术 电子显微分析 二、透射电镜的结构 现代分析测试技术 Modern technology of Analysis and Test 三、透射电镜的主要性能 Modern technology of Analysis and Test 指标 第三节 四、电子衍射 透射电子显微镜 授课教师：张玉德 授课教师：张玉德 2012年3月30 日 1 透射电子显微镜（TEM） 透射电子显微镜是以波长很短的电子束做照明 源，用电磁透镜聚焦成像的一种具有高分辨本 领，高放大倍数的电子光学仪器 2012年3月30 日 2012年3月30 日 3 4 一、工作原理和特点 1. 工作原理 P129 聚焦电子束作照明光源：电子枪产生的电子束，经1-2 级聚光镜会聚后，均匀地照射试样上的某一待观察的微 小区域上。 入射电子与试样物质相互作用:电子束与试样作用，试 样很薄——透射电子——其强度分布与试样的形貌、组 成、结构对应。 透射出的电子经一系列透镜放大投射到荧光屏上。 荧光屏把电子强度分布转变为可见光强度分布 ——— 图像 （阴极射线发光过程） 2012年3月30 日 2012年3月30 日 5 6 一、工作原理和特点 3.特点 2. 工作过程：