修正板改善薄膜厚度均匀性的研究的中期报告.docx

修正板改善薄膜厚度均匀性的研究的中期报告 本研究旨在研究修正板在薄膜制备过程中如何改善薄膜厚度均匀性的问题。本中期报告介绍了我们已经完成的工作以及下一步的计划。 首先，我们对现有的薄膜制备过程进行了分析。我们发现，薄膜厚度不均匀的主要原因是基板表面的不平整，因此我们的方案是在基板表面贴上修正板。我们通过实验发现，修正板可以有效地解决薄膜厚度不均匀的问题。 接着，我们对修正板的制备工艺进行了优化。我们采用了化学气相沉积技术制备修正板上的光阻，并通过控制反应条件和光阻溶剂的选择来实现对修正板表面的准确控制。 在实验阶段，我们利用修正板进行了薄膜制备，并对薄膜的厚度进行了测量。实验结果表明，在修正板的帮助下，薄膜的厚度均匀性得到了明显改善。 对于下一步的工作，我们计划进一步优化修正板的制备工艺，以提高其质量和可靠性。我们还将进一步研究修正板的抗蚀性和防污性能，以确保其长期使用效果。最后，我们将对将修正板应用于实际生产中的适用性进行进一步考察。 总之，我们已经完成了对修正板改善薄膜厚度均匀性的研究，并取得了一定成果。我们将继续努力，进一步完善该技术，并探索其在大规模生产中的应用价值。