超薄膜厚度的一种检测方法研究.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 $# F ’## F ， ， ， Q2. D$# P2 D F =;-;18 ’## （ ） ###*(’#J’##J$# #F J %%E*#% =LA= ?MN@OL= @OPOL= !’## L7:, D ?751 D @29 D !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! !#$ 超薄膜厚度的一种检测方法研究 刘 爽 宁永功 张 毅 张怀武 陈 艾 （电子科技大学信息材料工程学院，成都 !##$% ） 刘俊刚 杨家德 （重庆光电技术研究所，重庆 %###!# ） 李 昆 （材料工程研究所，新加坡 ’!# ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ’### ’ $ ’## ’ ’( 介绍了采用角分辨 射线光电子解谱（ （ ））测试薄膜不同角度光 )* +,-./ 0/12.3/4 )*0+5 67282/./980:9 16/980; =)?@ 电子能谱强度，计算电子平均自由程，从而计算出 超薄膜厚度的方法，并给出其透射电子显微镜（ ）晶格象 ?8@: ABC 验证结果D 实验表明该方法简单易行，适用于其他超薄膜厚度的测量D 关键词： 超薄膜，小角度 射线电子能谱， 晶格象 ?8@: ) ABC ： !% #E!’ ［］ 变化与薄膜厚度有关系的特点 D 引 言 ’ ( ) 单层厚度公式推导 ［］ 近年来，集成电路和光子器件对薄膜的要求越 对于单层膜存在 ： 来越薄，超薄膜的研究和应用是目前相关领域的热 H I J !1:, （ # ）， （）