一种衬底片厚度检测装置及测量方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113390354 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110826577.8
(22)申请日 2021.07.21
(71)申请人 苏州恒嘉晶体材料有限公司
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