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电子元器件应用-LTCC技术参数手册.pdf

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Hebei Semiconductor Research Institute LTCC V1.2 1 11 21 2 12 2 3 34 4 8 9 19 2 9 310 4 11 1 2 2.1 5.9 0.2(1100GHz) -3(1100GHz) 2.2 2 10 2.3 1014 ·cm 2.4 170 MPa 2.5 40 2.6 0.0965mm 2.7 0.010mm0.012mm 2.8 0.17mm 2.9 g/cm3 2.10 2.11 10G 1 1 2 2 2.1 mm 3 2.2 mm
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