非晶硅薄膜电池_激光工艺介绍update.pptx

非晶硅薄膜电池激光工艺介绍;目录;芯片段工艺流程图;;为什么标准件分割标成39个子电池串联？ 电极引线搭配 内阻消耗 输电浪费 原材料消耗(死区);问题思考——Laser切割的必要性;问题思考——使用脉冲激光的必要性;我司激光机设备;激光刻划机;有进片台和出片台组成，配备带滚轮旋转轴，步进电机驱动传送轴，带动旋转轴和滚轮同步转动，基片在滚轮上水平传输 若采用膜面向下的刻蚀方式，则在送料系统设有基片反转装置;CCD(Charge Coupled Device)图像智能定位系统 P2、P3刻蚀时，以P1第一条线为定位基准； CCD定位系统保证三层膜相邻三条线的平行度;刻蚀区一侧采用吹气设备把刻蚀产生的尘埃吹离刻蚀区域，在相反的一侧采用吸气设备吸收气体及尘埃;激光刻划示意;;激光器具体介绍;激光器关键参数对工艺影响;2021/5/24;绿光;;激光工序;不同激光工序刻划作用;目的 加工方式 工艺选择 检测标准 异常处理;目的 加工方式 工艺选择 检测标准 异常处理;目的 加工方式 工艺选择 检测标准 异常处理;;目的 加工方式 工艺选择 检测标准 异常处理;目的 加工方式 工艺选择 检测标准 异常处理;附件——制程管控与检验;? P1;P2;P4;反压;退火;? P7;