生产非晶硅薄膜太阳能电池用激光刻膜机.pdf

SooPAT 生产非晶硅薄膜太阳能电池用激 光刻膜机 申请号：200820241126.8 申请日：2008-12-30 申请(专利权)人 武汉楚天激光(集团)股份有限公司 地址 430074湖北省武汉市东湖高新技术开发区关山二路楚天激光 科技楼 发明(设计)人 徐爱忠 叶青 付斌 孙文 主分类号 H01L31/20(2006.01)I 分类号 H01L31/20(2006.01)I B23K26/36(2006.01)I 公开(公告)号 201349017 公开(公告)日 2009-11-18 专利代理机构 代理人 [19 ]中华人民共和国国家知识产权局 [51] Int. Cl. H01L 31/20 (2006. 01 ) B23K26/36 臼朋~ 01 ) [12 ]实用新型专利说明书 专利号 ZL 200820241126.8 [45] 授权公告日 2009 年 11 月 18 日 [11] 授权公告号 CN 201349017Y [22] 申请日 2008.12.30 [21] 申请号 200820241126.8 [73] 专利权人武汉楚天激光(集团)股份有限公司 地址 430074 湖北省武汉市东湖高新技术开 发区关山二路楚天激光科技楼 [72] 发明人徐爱忠叶青付斌孙文 权利要求书 1 页说明书4 页附图2 页 [54] 实用新型名称 生产非晶硅薄膜太阳能电池用激光刻膜机 [57] 摘要 本实用新型涉及一种激光设备。 本实用新型公 开了一种生产非晶硅薄膜太阳能电池用激光刻膜 机，包括用于刻划非晶硅薄膜的激光器系统、计算 机系统、四光路分光装置、聚焦装置、二维运动工 作台，所述计算机系统分别与激光器系统、四光路 分光装置、二维运动工作台连接，激光器系统输出 的激光通过四光路分光装置、聚焦装置作用在二维 运动工作台上的工件上。 本实用新型具有精度高、 速度快、效率高的特点。 200820241126.8 权利要求书 第1/1支 1 、一种生产非晶硅薄膜太阳能电池肃激光刻膜机，其特f正在于: 包括用于刻划非晶硅薄朦的激光器系统、计算机系统、四元路分光装 置、聚焦装置、二维运动工作台，所述计算机系统分别与激光器系统、 四光路分先装置、二维运动工作台连接，激光器系统输出的激光通过 四光路分充装置、聚焦装置作用在二维运动工作台上的工件上。 2 、如权利要求:所述生产非晶硅薄膜太阳能电池扉激光刻摸机， 其特征在于:所述激光器系统包括激光器、扩束镜、光纤及其辑合准 直装置、激光电源、声光电j毒、冷却系统，激光器分别与激光电源、 声光电漠、冷却系统连接，扩束镜、光纤及其藕合堆直装置位于激光 器的输出端。 3 、如权利要求 2 所述的一种生产非晶硅薄摸太阳能电池用激光 刻摸机，其特征在于:所述激先器包括绿光激光器、红外光激光器， 其中，绿光激光器由反射镜、 Q 开关、激光模块、谐泼反射镜、倍频 晶体、输出镜组成，红外先激光器出反射镜、 Q 开关、激光模块、输 出镜组成。 2 200820241126.8 说