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等离子体物理及应用领域 什么是等离子体？ 由大量的带电粒子组成的非束缚态的宏观体系 非束缚性：异类带电粒子之间相互“自由”，等离子体的基本粒子元是正负荷电的粒子（电子、离子），而不是其结合体。 粒子与电磁场的不可分割性：等离子体中粒子的运动与电磁场（外场及粒子产生的自洽场）的运动紧密耦合，不可分割。 集体效应起主导作用：等离子体中相互作用的电磁力是长程的。 等离子体是物质第四态 电离气体是一种常见的等离子体 需要有足够的电离度的电离气体才具有等离子体性质。 “电性”比“中性”更重要 电离度 10-4 放电是使气体转变成等离子体的一种常见形式 等离子体 电离气体 宇宙中90％物质处于等离子体态 人类的生存伴随着水，水存在的环境是地球文明得以进化、发展的的热力学环境，这种环境远离等离子体物态普遍存在的状态。因而，天然等离子体就只能存在于远离人群的地方，以闪电、极光的形式为人们所敬畏、所赞叹。 由地球表面向外，等离子体是几乎所有可见物质的存在形式，大气外侧的电离层、日地空间的太阳风、太阳日冕、太阳内部、星际空间、星云及星团，毫无例外的都是等离子体。 地球上，人造的等离子体也越来越多地出现在我们的周围。 日常生活中：日光灯、电弧、等离子体显示屏、臭氧发生器 典型的工业应用：等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理 高技术应用：托卡马克、惯性约束聚变、氢弹、高功率微波器件、离子源、强流束、飞行器鞘套与尾迹 等离子体参数空间 等离子体的描述方法 等离子体描述是一致的，通常是经典、非相对论的体系 经典： 非相对论： 电磁场运动 麦克斯韦方程 粒子运动 直接粒子描述： 每个粒子运动由牛顿方程描述（对现实体系的粒子数几乎是不可能的，计算机 PIC 模拟方法以此为基础） 动力论描述：相空间粒子概率分布描述， 流体描述：将等离子体视为电磁相互作用起主导作用的流体，（电）磁流体（EMHD，MHD） 等离子体分类 冷等离子体（） 如：极光、日光灯 低温等离子体 热等离子体（） 如：电弧、碘钨灯 高温等离子体 如：聚变、太阳核心 低温等离子体的电子温度小于10000°C，电子能量是1eV，而高温等离子体的电子温度则大于此温度。 等离子体判据 等离子体存在时间尺度：必须大于响应时间，即 等离子体存在空间尺度：必须大于德拜长度，即 等离子体参数：必须远大于1，即 德拜球的粒子数（）必须具有统计意义 等离子体是弱耦合的近“理想”电离气体。 对弱电离情况：带电粒子与中性粒子作用远小于带电粒子之间的作用 非磁化等离子体中波动 离子声波：离子运动，低频，与普通声波类似，纵波 电子等离子体波：电子运动，高频，纵波 电磁波：横波，等离子体可视为介质，折射率 n 1，小于等离子体频率的波不能传播 无线电波在电离层的反射 截止层： 磁化等离子体中波动 Alfen 波：低频波，等离子体与磁场冻结在一起，相当于弹性介质： 平行于磁场传播的波：左旋偏振波、右旋偏振波 垂直于磁场传播的波：寻常波、异常波 等离子体物理学科发展简史 19世纪30年代起 放电管中电离气体，现象认识 建立等离子体物理基本理论框架 20世纪50年代起 受控热核聚变 空间技术 等离子体物理成为独立的分支学科 20世纪80年代起 气体放电和电弧技术发展应用 低温等离子体物理发展 等离子体物理主要研究领域 低温应用等离子体 冷等离子体 热等离子体 聚变等离子体 磁约束聚变 惯性约束聚变 空间和天体等离子体 主要内容 等离子体物理及学科 等离子体概念和基本性质 等离子体物理学科发展史及研究领域 等离子体主要应用领域 低温等离子体应用 冷等离子体应用－ 热等离子体应用－军事与高技术应用 聚变等离子体 磁约束聚变－惯性约束聚变 空间与天体等离子体 冷等离子体应用 非热平衡等离子体，背景温度低，电子温度高，存在大量的活性粒子 电子能量（eV）远大于分子键能（0.1eV） 等离子体的化学过程 刻蚀 化学气相沉积（成膜） 等离子体材料处理 表面改性 灭菌消毒 表面冶金 光源 冷光源（节能，线光谱） 气体激光器 等离子体显示器 特征类金刚石表面制造 实验室与日本原子力所先进科学研究中心合作，开展了非平衡薄膜表面制造的研究，成功第地制备了纳米尺度的针状表面、波纹表面，树枝状表面、正弦表面等表面结构，其中波纹表面，是应用薄膜生长过程的自组织过程中直接形成的。（J. Chem.Phys. 116, 10458，2002） 毫米级厚金刚石片制备研究 应用PCVD方法开展金刚石模制备研究开展了多年，对制备过程中物理化学及工艺过程进行了系统研究。可以稳定地制备高质量毫米量级厚度的金刚石片，并用金刚石膜加工成金刚石电子热沉片，热导率高达7.6W/ k·cm ，可用于大功率电子器